1.無(wú)油干式機(jī)械真空泵:是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。
2.水環(huán)真空泵:水環(huán)真空泵內(nèi)裝有帶固定葉片的偏心轉(zhuǎn)子,是將水(液體)拋向定子壁,水(液)成與定子同心的液環(huán),液環(huán)與轉(zhuǎn)子葉片一起構(gòu)成可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。
3.羅茨真空泵:是指泵內(nèi)裝有相反方向同步旋轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種變?nèi)菡婵毡谩?/span>
4.真空度:處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度,通常用真空度表述。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值,從表上表示出來(lái)的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng),業(yè)界也稱為極限相對(duì)壓強(qiáng),即:真空度=大氣壓強(qiáng)-絕對(duì)壓強(qiáng),絕對(duì)壓強(qiáng)=大氣壓強(qiáng)+表壓。
5.真空度單位
通常用托(Torr)為單位,國(guó)際上取用帕(Pa)作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱。
Pa:帕斯卡是國(guó)際單位制中表示壓強(qiáng)的基本單位,簡(jiǎn)稱帕。符號(hào)Pa。為紀(jì)念法國(guó)物理學(xué)家與數(shù)學(xué)家帕斯卡而命名。
6. 流量
單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q"表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
7.流導(dǎo)
表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U"。 U=Q/(P2- P1)
8.抽氣速率
在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
9. 真空計(jì):是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
10.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。1大氣壓=760mmHg =101325Pa
11.飽和蒸汽壓力:在密閉條件中,在一定溫度下,與固體或液體處于相平衡的蒸汽所具有的壓力稱為飽和蒸汽壓力。
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