在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:
①. 無油,無摩擦——真空腔內(nèi)無油,非接觸,無磨損,不產(chǎn)生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;
②. 抽氣量大——雙渦旋盤,結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源;
③. 抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低;
④. 非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動小;
⑤. 結(jié)構(gòu)簡單緊湊,相同尺寸下,運動半徑小,運行平穩(wěn);
⑥. 體積小,維修方便,維護費用低;
⑦. 采用空氣冷卻,無需水冷。
無油渦旋真空泵應(yīng)用在
①. 半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;
②. 科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;
③. 機械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備;
④. 化學(xué)工業(yè);
⑤. 醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;
⑥. 包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。
無油渦旋真空泵主要由5個部件組成:
①. 動靜渦旋盤付與基座;
②. 曲軸;
③. 密封墊;
④. 防自轉(zhuǎn)機構(gòu);
⑤.電機。
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