光學(xué)元件在各個領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用，對光學(xué)元件的表面加工精度提出越來越高的要求。如何檢測光學(xué)元件的加工精度，從而用于優(yōu)化加工方法，保證最終元器件的性能指標，是光學(xué)元件加工領(lǐng)域的關(guān)鍵問題之一。

光學(xué)元件的加工精度包括表面質(zhì)量和面型精度，這些參數(shù)會影響其對光信號的傳播，進而影響最終器件的性能。

此外，各種新型光學(xué)元件也需要檢測其表面輪廓，比如非球面，衍射光學(xué)元件，微透鏡陣列等。除了最終光學(xué)元件的加工精度以外，各種光學(xué)元件加工工藝也需要檢測中間過程的三維形貌以保證最終產(chǎn)品的精度，包括注塑、模壓的模具，光學(xué)圖案轉(zhuǎn)印時的掩膜版，刻蝕過程的圖案深度、寬度等。

布魯克的三維光學(xué)顯微鏡配備雙光源技術(shù)，同時實現(xiàn)白光干涉和相移干涉成像，適用于各種不同光學(xué)樣品、模具的三維形貌測量。在光學(xué)加工領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

· 設(shè)備可以用于光學(xué)元件表面質(zhì)量檢測，可以通過表面粗糙度、表面斜率分布等判斷光學(xué)元件整體散射率，也可以統(tǒng)計局部的各種缺陷。

· 設(shè)備還可以用于各種光學(xué)元件的面型分析，除了手動分析以外，軟件還提供了包括Zernike多項式擬合、非球面分析等功能。

· 由于該設(shè)備能準確測量和分析光學(xué)元件，在多種先進光學(xué)元件中得到廣泛應(yīng)用，包括光柵、菲涅爾透鏡和二元光學(xué)元件等衍射光學(xué)元件，以及微透鏡陣列等。

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