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產(chǎn)品介紹|diener Parylene涂層系統(tǒng)P17了解一下

更新時間:2023-04-26瀏覽:912次

一、控制:

Windows PC人機(jī)交互操軟件,多種語言(含中文),用戶密碼登陸管理權(quán)限,工藝二維折線圖實(shí)時顯示,一鍵回復(fù)原廠設(shè)置,數(shù)據(jù)備份與還原功能,數(shù)據(jù)自動存儲和導(dǎo)入導(dǎo)出功能,可儲存100套工藝參數(shù)

 

二、原料:沉積Parylene N、C、F-VT4型

三、沉積厚度:0.05~30um

四、沉積室直徑300mm,深度300mm

五、轉(zhuǎn)盤直徑250mm,高度280mm,轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速0~100%可調(diào)節(jié)

六、集成硅烷蒸發(fā)模塊,壓力與溫度PID控制,實(shí)現(xiàn)Parylene涂層前硅烷沉積功能,可設(shè)定蒸發(fā)器預(yù)加熱溫度,到達(dá)設(shè)定加熱溫度后,開始硅烷蒸發(fā)程序,同時通過腔體壓力判斷檢測硅烷蒸發(fā)量

七、溫度控制系統(tǒng):

1.裝料艙門溫度實(shí)時顯示設(shè)定范圍:室溫~200°C

2.蒸發(fā)器溫度實(shí)時顯示設(shè)定范圍:室溫~200°C

3.裂解艙溫度實(shí)時顯示設(shè)定溫度范圍:室溫~850°C

4.沉積室溫度實(shí)時顯示設(shè)定溫度范圍: 室溫~200°C

5.硅烷蒸發(fā)器及管道溫度設(shè)定范圍:室溫~200°C

八、真空系統(tǒng):

1.沉積室真空壓力檢測

2.真空泵壓力檢測

3.配有慢速抽氣模塊,可以設(shè)定慢速抽真空的時間;

4.雙級油式旋片泵,排氣速度60m3/H,極限真空泵小于1*10-3mbar,噪音52bB(A),電源AC230V

九、多重報警與報警設(shè)定功能:

1.可設(shè)定蒸發(fā)器壓力最大偏差、門溫度最大偏差、裂解管溫度最大偏差、壓力傳感器溫度最大偏差、腔體溫度最大偏差、硅烷蒸發(fā)器溫度最大偏差、硅烷管路1溫度最大偏差值;

2.保養(yǎng)周期報警提示;

3.轉(zhuǎn)盤位置錯誤報警;

4.詳細(xì)的報警描述,方便判斷報警原因;

十、冷卻方式:

液氮和冷阱頭兩種方式

冷阱頭冷卻方式:風(fēng)冷

冷阱頭低溫度-100°C,冷頭尺寸:直徑50mm, 長度380mm

RS485通訊模塊,可以與主機(jī)通訊

冷阱尺寸:W600xD550xH1200mm

十一、尺寸與電源

  1. 外形尺寸:W1200xD700xH1100mm(不含真空泵與冷阱)

  2. 電源:AC380V 3P 32A

 

如有需要diener plasma設(shè)備 ,可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司


 

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