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Diener 等離子表面處理儀 Tetra150

簡要描述:Diener 等離子表面處理儀 Tetra150特點(diǎn)
·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

  • 所在城市:上海市
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-12-02
  • 訪  問  量:1121
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)工藝氣體O2 Ar N2 Air SF6 CF4
流量計MFC /防腐型MFC不銹鋼真空腔體W400xD625xH625/150L
鋁合金真空腔體W400xD625xH625/150L外形尺寸WDH(mm)600x850x1700(2100)
電源AC400 V / 16 A

Diener 等離子表面處理儀 Tetra150

特點(diǎn)

·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出

·模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

 

 

Diener 等離子表面處理儀 Tetra150規(guī)格

型號

Tetra 150

控制系統(tǒng)

控制方式

全自動控制(自動/手動切換)

BASIC PC

FULL PC

操作系統(tǒng)

Windows CE

Windows 10

觸摸屏

3.5/7”

15”

工藝氣體

O2 Ar N2 Air SF6 CF4

工藝氣路

1-3(可選)

1-10(可選)

流量計

MFC /防腐型MFC

真空腔體

不銹鋼W400xD625xH625/150L

鋁合金W400xD625xH625/150L

電極

材質(zhì)

鋁/不銹鋼電極

層數(shù)

1-12(可選)

1-2

1-5

真空壓力計(mba)

皮拉尼傳感器(0-9.99)

發(fā)生器

 

40kHz 0-1500W

80kHz 0-1000W 0-3000W

13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

2.45GHz 0-1200W

托盤

不銹鋼/鋁

實(shí)板/鏤空

層數(shù)

1-12(可選)

外形尺寸WDH(mm)

600x850x1700(2100)

電源

AC400 V / 16 A

真空泵抽氣速度

根據(jù)工藝選擇

選配件

單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極(刻蝕)、石英舟、干泵

 

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