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FTIR傅里葉紅外在硅材料分析中的應(yīng)用

更新時(shí)間:2023-01-05瀏覽:2208次

FTIR傅里葉紅外在硅材料分析中的應(yīng)用

用于超高靈敏度硅材料質(zhì)量控制分析的分析儀

CryoSAS 是一款低溫硅材料分析儀,可用于太陽 能和電子硅行業(yè)的超高靈敏度質(zhì)量控制。它可以同時(shí)定量分析碳、氧以及淺層雜質(zhì)(如硼、磷、砷等)。

根據(jù)ASTM/SEMI標(biāo) 準(zhǔn),CryoSAS操作簡便,無需液氦等制冷劑。相比于傳統(tǒng)的濕 化學(xué)分析法,CryoSAS更為快速、靈敏,并且對(duì)樣品沒有任何 損害。

  • ·對(duì)單晶硅中所含的第三、五族雜質(zhì)(硼、磷、砷、鋁、鎵、銻) 的定量分析,檢出限達(dá)ppta量級(jí)。

  • ·多晶或單晶硅中代位碳的定量分析,檢出限達(dá)ppba量級(jí)。 

  • ·多晶或單晶硅中間隙氧的定量分析,檢出限達(dá)ppba量級(jí)。 

  • ·全自動(dòng)檢測流程,自動(dòng)分析數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成檢測報(bào)告。

用于硅材料質(zhì)量控制的低溫光致發(fā)光實(shí)驗(yàn)

根據(jù)ASTM/SEMI MF1389標(biāo)準(zhǔn),低溫近紅外光致發(fā)光(PL)實(shí)驗(yàn)可以用于單晶硅中淺層雜質(zhì)(如硼、磷等)的定量分析。

我們將高靈敏度VERTEX 80 傅立葉變換光譜儀和專為硅材料低溫光致發(fā)光實(shí)驗(yàn) 設(shè)計(jì)的低溫恒溫器相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了低檢出限小于1ppta的超高檢出水平。

  • 根據(jù) ASTM/SEMI MF1389標(biāo)準(zhǔn),定量分析單晶硅中的硼、磷和鋁含量。 用CVD方法制備的TCS(三氯硅烷)硅外延層也可進(jìn)行PL實(shí)驗(yàn),以實(shí)現(xiàn)TCS的質(zhì)量控制。

  • 多種附加功能,如自動(dòng)控制恒溫器制冷、專用的PL硅材料QC軟件、標(biāo)準(zhǔn)建模樣品和第二個(gè)激 發(fā)激光。

 

 

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